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ALICAT 气体质量流量控制器-基本型 11系列

量程0-100 SCCM到0-250 SLPM,量程可控比0.01%-100%,低价位,响应时间100 ms,精度优于1%

美国ALICAT 11系列基本型质量流量控制器,采用内部补偿型层流压差技术,使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。内置的绝压和温度传感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异,并对用户标准工况进行修正。所有Alicat质量流量控制器均具有NIST可溯源校准证书。Alicat的11系列数字式质量流量控制器可用于快速精确地测量并控制过程气体的质量流量。采用快速稳定的优质电磁阀以及优化的PID调校,可达到优于100 ms的控制速度,并保持极佳稳定性。

应用及案例


● 大学/研究所                                         ● 环境监测     

● 真空镀膜                                              ● 工业炉窑    

● 半导体                                                 ● 汽车制造    

● 光伏                                                    ● 燃料电池    

● 计量                                                    ● 过程工艺气体测量


产品特色


● 低价位产品

● 标配模拟和数字信号

● 量程可控比0.01%-100%

● 响应时间快 仅需100ms(可调)


技术指标


介质要求    非腐蚀性、洁净、干燥的气体

介质种类    内置了 98 种气体,请参考背面,一台设备内置所有气体,用户可现场选择

量       程    从0-100 SCCM 到 0-250 SLPM(详情请咨询)

测量和控制范围    0.01~100% 满量程

最大显示流量    102.4%FS

精       度    ± (0.8%RD+0.2%FS),RD-读数 FS-满量程

重  复 性    ±(0.2% 读数 + 0.02% 满量程)

零点&满量程温度漂移:    0.02% FS / ℃ (从25 ℃开始)

零点&满量程压力漂移:    ±(0.08% 读数 + 0.02% 满量程)(从校准压力开始)

预热时间   <1s

响应时间    100 ms(可调)

默认标况(STP)    25 ℃ & 1Atm(其它标况可调)

工作温度    -10 ~ +60 ℃

工作湿度    0 - 95%,无冷凝

最大工作压力    1 MPa 表压

极限耐压    1.1 MPa 表压

最低操作压力    建议在绝压 80 KPa 以上使用(其他请咨询)

模拟输入/输出信号   0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

数字输入/输出信号   RS232、RS485、Modbus RTU(RS232/RS485)

供电电压    12-24VDC (如选4-20 mA输出,须为15-24 VDC)供电电流    250 mA,1 A(详情咨询)额外加40 mA(选4 - 20 mA)

电气接口    DB9M

材       质    302、303、304、316L、430FR 不锈钢、 FKM氟橡胶、 陶瓷、             

                  铜、玻璃、金、环氧树脂、硅橡胶、 聚酰胺、硅

安装方式    对位置无要求 

防护等级    IP40



选项配件

1


安装手册

稍后更新


机构认证

即将更新


尺寸详图

1



产品大图

即将更新


型号列表

即将更新


气体编码


选型表截图长图.png

* 混合气体编码为“800”,选项中须有具体混合气体比例说明。

* 对于液体流量计和控制器,液体指纯水,液体编码为“900”。

* ALICAT非抗腐蚀流量计/控制器产品,可支持①类气体。

* ALICAT抗腐蚀流量控制器产品,可支持①、②类气体。

* ALICAT抗腐蚀流量计产品,可支持①、②、③类气体。

* 未在表中列出的气体,也可能被测控,具体请咨询我们。