差压式原理质量流量计与老式热式差压式原理质量流量计相比有很多差别:

差压式原理质量流量计如:Alicat是新式差压式原理精度高,预热时间段、响应时间快、测量气体种类多、气体种类可调节、

耐压范围大、测量温度广、控制种类多等特点。

老式热式差压式原理质量流量计如:宝德(BURKERT),布鲁克斯(BROOKS)等老式热式原理的质量流量计的预热时间,相对

时间长、响应时间慢、测量气体气体单一,耐压范围相对较小、测量温度范围相对较窄、控制种类单一等很大区别。



差压式原理和热式原理参数对照表


 
差压式原理
热式原理
原理
层流差压原理
热式原理
流量
2500SLPM
2500SLPM
精度
1%F.S
1%F.S
重复精度
0.5%F.S
0.25%F.S
量程比
100:1
50:1
预热时间
1S
10Min
响应时间
100ms
3S
耐压
125PSI(8.6Bar)
70Bar
压降
25PSID
2.4Bar(35PSID)
温度范围
-10~100℃
0~70℃
漂移
0.02%F.S/Atm*℃
0.015%F.S/℃
电源
24VDC,1Amp
24VDC,370mA
电气联接
RS-232,0~5V,4~20mA,0~10V,1~5V
0~5V,4~20mA,0~10V,1~5V
控制
本地控制,模拟控制,计算机控制
模拟控制
介质
30种气体可选
单一气体,更换气体需重新标定