差压式原理质量流量计如:Alicat是新式差压式原理精度高,预热时间段、响应时间快、测量气体种类多、气体种类可调节、
耐压范围大、测量温度广、控制种类多等特点。
老式热式差压式原理质量流量计如:宝德(BURKERT),布鲁克斯(BROOKS)等老式热式原理的质量流量计的预热时间,相对
时间长、响应时间慢、测量气体气体单一,耐压范围相对较小、测量温度范围相对较窄、控制种类单一等很大区别。
差压式原理 |
热式原理 |
|
原理 |
层流差压原理 |
热式原理 |
流量 |
2500SLPM |
2500SLPM |
精度 |
1%F.S |
1%F.S |
重复精度 |
0.5%F.S |
0.25%F.S |
量程比 |
100:1 |
50:1 |
预热时间 |
1S |
10Min |
响应时间 |
100ms |
3S |
耐压 |
125PSI(8.6Bar) |
70Bar |
压降 |
25PSID |
2.4Bar(35PSID) |
温度范围 |
-10~100℃ |
0~70℃ |
漂移 |
0.02%F.S/Atm*℃ |
0.015%F.S/℃ |
电源 |
24VDC,1Amp |
24VDC,370mA |
电气联接 |
RS-232,0~5V,4~20mA,0~10V,1~5V |
0~5V,4~20mA,0~10V,1~5V |
控制 |
本地控制,模拟控制,计算机控制 |
模拟控制 |
介质 |
30种气体可选 |
单一气体,更换气体需重新标定 |