200系列热式气体质量流量计/控制器

量        程

2SCCM-500SLPM（氮气等效）

量  程  比

50:1，100:1可选

精        度

±1%FS

重  复  性

±0.2%FS

耐        压

1.5MPaG

最大工作压力

0.45MPaG

工作差压

（2SCCM-23SLPM） 量程：0.07-0.28MPaD

（＞23-150SLPM） 量程: 0.14-0.28MPaD

（＞150-500SLPM）量程: 0.20-0.30MPaD

响应时间

≤1秒

外部泄露率

1×10^-9Pa.m³/sec（He）

标准工况（STP）

25℃&1Atm

环境温度

5~45℃

过程连接

卡套：1/8"、1/4"、3/8"、1/2"、3mm、6mm、8mm等

VCR（公头）: 1/8"、1/4"、3/8"、1/2"

IGS: 1.125"C" 型密封、1.125"W" 型密封

1.5"C" 型密封、 1.5"W" 型密封

接液材质

316L不锈钢、Viton氟橡胶、磁体不锈钢

表面粗糙度

≤25Ra

防护等级

IP55

显        示

标准不带显示，可选OLED显示屏

设备地址

1（默认）-127

指示灯

绿灯和红灯（供电、通讯、故障状态指示）

安装方向

任意方向

重        量

 详见尺寸表

供电电压

24VDC或±15VDC

功        耗

3.5-4.5W（和量程有关）

电气连接

DB9M接头和RJ-45网口插孔×2

模拟输入/输出信号

4-20mA或0-5V

数字输入/输出信号

RS-485/Modbus-RTU（默认）或DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profinet

通信速率

9600bps（默认）、19200、38400bps

功        耗

3.5-4.5W（和量程有关）

电气连接

DB9M接头和RJ-45网口插孔×2

模拟输入/输出信号

4-20mA或0-5V

数字输入/输出信号

RS-485/Modbus-RTU（默认）或DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profinet

通信速率

9600bps（默认）、19200、38400bps

2SCCM-5SLPM

124.0×31.8×127.0(mm)

1/4"卡套

约1kg

＞5SLM-50SLM

124.0×33.0×130.0(mm)

1/4"卡套

约1kg

＞50SLPM-100SLPM

3/8"卡套

约1kg

＞100SLPM-300SLPM

181.7×38.0×155.7(mm)

3/8"卡套

约2.3kg

＞300SLPM-500SLPM

178.0×38.0×157.5(mm)

1/2"卡套

约1.8kg

注：重量只包含对应卡套接口，其它过程接口重量请咨询

1

系列和类别

200M：200系列热式气体质量流量计

200C：200系列热式气体质量流量控制器

2

量程

-2C:   2SCCM

-10C:  10SCCM

-50C:  50SCCM

-100C: 100SCCM

-200C: 200SCCM

-500C: 500SCCM

-1L:   1SLPM

-2L:   2SLPM

-5L:   5SLPM

-10L:  10SLPM

-20L:  20SLPM

-50L:  50SLPM

-100L: 100SLPM

-200L: 200SLPM

-500L: 500SLPM

-X量程: 定制量程（例如30SCCM,选型代码为X30C；6SLPM,选型代码为X6L）

3

过程接口

-3MS：3mm卡套接头

-6MS：6mm卡套接头

-8MS：8mm卡套接头

-1IS：1/8"卡套接头

-4IS：1/4"卡套接头

-6IS：3/8"卡套接头

-8IS：1/2"卡套接头

-1CR: 1/8"VCR接头

-4CR: 1/4"VCR接头

-6CR: 3/4"VCR接头

-8CR: 1/2"VCR接头

-1.125C: 1.125“C" 型密封

-1.125W: 1.125“W" 型密封

-1.5C:   1.5“C" 型密封

-1.5W:   1.5“W" 型密封

-X:      定制接头

4

气体（遵循半导体标准E52-0703）

-001：氦气

-004：氩气

-007：氢气

-008：空气

-013：氮气

-015：氧气

-025：二氧化碳

-028：甲烷

注：其他气体，详见气体列表

5

模拟信号

-N：无模拟信号

-A: 4-20mA模拟输入/输出信号

-V: 0-5V模拟输入/输出信号

6

数字信号

-RS:  RS485数字输入/输出信号（默认）

-DNET: DeviceNet通讯

-ECAT：EtherCAT通讯

-EIP:  EtherNet/IP通讯

-PFN:  Profinet通讯

注：RS485数字输入/输出信号为默认,选择其他数字通讯时，模拟信号不可选

7

供电电压

-P24: 24VDC

-P15: ±15VDC

8

显示屏

-N：无显示屏

-D: OLED显示屏