ALICAT 气体质量流量控制器 01系列（已停产，可选替代款03系列）

品牌: ALICAT

量程100 SCCM ，1000 SCCM，20 SLPM，50 SLPM
热贴片原理，体积小巧精致，适合系统集成
100ms快速响应时间，优于2%精度

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ALICAT 气体质量流量控制器 03系列

品牌: ALICAT

品牌: ALICAT
满量程 100 SCCM - 100 SLPM，优于 1.5%RD 精度

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ALICAT CVD行业专用真空控制器 53系列

品牌: ALICAT

CVD行业专用真空控制器

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ALICAT CVD专用气体质量流量控制器 51系列

品牌: ALICAT

CVD专用气体质量流量控制器
层流差压原理
非抗腐蚀

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ALICAT 气体质量流量控制器-基本型 11系列

品牌: ALICAT

量 程 0-100 SCCM到0-250 SLPM
质量流量普通精度 ± 0.6% 读数或 ± 0.1% 满量程（取最大值）
质量流量高精度 ± 0.5% 读数或 ± 0.1% 满量程（取最大值）

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