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ALICAT 本安防爆低压损型气体质量流量控制器 ISMCW系列
品牌: ALICAT
量 程0.5 SCCM -10 SLPM 优于1 %的精度,超低压损
ALICAT 本安防爆高压型气体质量流量控制器 ISMCQ系列
量 程0.5 SCCM -10000 SLPM 优于30 ms响应时间
ALICAT 气体质量流量控制器 21系列
量 程0.5 SCCM -10000 SLPM优于30 ms响应时间
ALICAT 本安防爆耐腐蚀型气体质量流量控制器 ISMCS系列
量 程0.5 SCCM -250 SLPM 优于100 ms响应时间
ALICAT 低压损气体质量流量控制器 21W系列
量 程 0.5 SCCM - 1000 SLPM优于1 %的精度量程可控比宽,0.5~100 %满量程
ALICAT 气体质量流量控制器-耐腐蚀型 21S系列
量 程 0~0.5 SCCM —— 0~10000 SLPM量程可控比1%-100%
ALICAT 高压气体质量流量控制器 21Q系列
响应式气体流量控制,适用于高压应用
ALICAT 带集成截止阀气体质量流量控制器 21V系列
量 程 0~0.5 SCCM —— 0~20 SLPM量程比 200:1内置98种气体,100ms响应时间,优于1%精度
ALICAT 截止阀质量流量控制器 21VS系列
量 程 0~0.5 SCCM —— 0~20 SLPM量程比 100:1内置128种气体,100ms快速响应时间,优于1%的精度
ALICAT 气体质量流量控制器 01系列(已停产,可选替代款03系列)
量程100 SCCM ,1000 SCCM,20 SLPM,50 SLPM 热贴片原理,体积小巧精致,适合系统集成 100ms快速响应时间,优于2%精度