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ALICAT 气体质量流量控制器-基本型 11系列
品牌: ALICAT
量 程 0-100 SCCM到0-250 SLPM 质量流量普通精度 ± 0.6% 读数或 ± 0.1% 满量程(取最大值) 质量流量高精度 ± 0.5% 读数或 ± 0.1% 满量程(取最大值)
ALICAT 气体质量流量计-基本型 10系列
量 程 从0-10 SCCM —— 0-20 SLPM 精 度 ± (0.8%RD+0.2%FS) 量程比 200:1,低价位, 10ms快速响应时间