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ALICAT 金属密封型绝压控制器 57系列

快速响应的绝压控制。

57系列金属密封的绝压控制器,接液材料限制为316L,加上PCTFE -这意味着它们与许多腐蚀性气体兼容。任何流量的外形都符合SEMI设备标准,使半导体设备的重新利用,翻新和改装变得容易。


应用及案例

  • 半导体各种CVD镀膜设备




产品特色

  • 接液材质316L和PCTFE,能够兼容绝大多数腐蚀性介质。

  • 默认背压控制选项。

  • 半导体标准尺寸,VCR 接头与底座一体式加工,结构更加紧凑,泄漏率可达10-10 atm·cc/sec He,更好的满足客户需求。