产品中心
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量程10 SCCM - 5000 SLPM，高压应用，10 ms 快速响应
ALICAT ISMQ系列本安防爆高压气体质量流量计，ia区域本安防爆认证，可用于0区环境；采用内部补偿型层流压差技术，使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。可缩短检定或验证高压（160-320 psia）条件下运行流量所需时间，还能够同时实时测量质量流量、体积流量、管线压力和管线温度。具有NIST可溯源校准证书。
应用及案例
制氢
燃料电池
制药
石油化工
能源
碳捕集
气相色谱/氧气分析仪等
产品特色
ia区域本安防爆认证，可用于0区环境
内置湿度传感器（选配）
多参数显示和输出：温度、压力、体积流量、质量流量等
IP66防护
可选高精度：优于0.5%
可现场标定混合气体（最多5种成分），并存储20种混合气
安防爆认证 ATEX和IECEx： Ex ia IIC T4 Ga Tamb -20 ℃ ~ 70℃
北美：Class I， Div 1， Groups A-D T4， Ex ia
Class I， Zone 0， AEx\Ex ia IIC T4 Ga
Tamb -20℃ ~ 70℃
介质要求 洁净的非腐蚀性气体
介质种类 内置98种气体，用户可现场编辑混合气体 （最多5种成分），并最多存储20种混合气
量 程 从0-0.5 SCCM 到 0-1000 SLPM
测量范围（量程比） 0.01-100%满量程（10000:1）
质量流量普通精度 ±（0.8 %读数 + 0.2 %满量程）
质量流量高精度 ±（0.4 %读数 + 0.2 %满量程）（量程≥5 SCCM可选）
累计流量精度 流量精度之外增加±0.1%读数额外误差
重 复 性 ± （0.2%读数+0.02 %满量程）
质量流量零点和满量程温度漂移 ±0.03%满量程/℃（从25℃开始）
质量流量零点和满量程压力漂移 ±(0.08% 读数+ 0.02% 满量程)/atm
（从校准压力开始）
显 示 屏 LCD单色显示屏（带背光）
显示方式 同时显示质量流量、体积流量、压力、温度
传感器响应时间 ＜1ms
显示响应时间 127ms
预热时间 ＜ 1 s
工作温度 -20 ~ 70 ℃（环境和气体）
温度精度 ± 0.75℃
工作湿度 0 ～ 95 %，无冷凝
内置湿度传感器精度（可选） ±1.8%RH@23℃（0-90%RH）
湿度漂移 ±0.05%RH/℃（0 ~ 60℃）
工作压力 11.5-60PSIA
压力精度 ±0.75%读数（＞1atm）；
±0.1PSIA（＜1atm）
耐 压 80PSIA（静压）；
15PSID（进出口差压）
满量程压损 参考详细压损表
数字输出信号 串口ASCII码和Modbus RTU via RS232（默认）；可选串口ASCII码和Modbus RTU via RS485
模拟输出信号 4-20mA
数据刷新频率 数字信号40 Hz@19200波特率；
模拟信号：1000 Hz
屏幕刷新频率 10 Hz
模拟信号精度 在基础误差上额外增加±0.1%满量程误差
供电电压与电流 请查看说明书DOC-MANUAL-IS-SAFEINSTALLATION
电气接口 DB15
接液材质 主体：316L SS，303SS
传感器：氧化铝陶瓷，金，玻璃，热固化环氧树脂，
热固化硅橡胶，硅，聚酰胺
密封材质：FKM
过程接口 NPT内螺纹，详细规格参考压损表；；其他过程接口请咨询
安装方向 无要求
安装固定孔 4×6-32UNC螺纹，孔深7.01mm
防护等级 IP66
满量程为0.5 SCCM -1000 SLPM，
其中10 SCCM - 20 SLPM量程段，下述指标升级：
质量流量普通精度 ± 0.75% 读数或± 0.1% 满量程（取最大值）
质量流量高精度 ± 0.6% 读数或± 0.1% 满量程（取最大值）
重复性 ±（0.1% 读数 + 0.02% 满量程）
质量流量零点漂移 ± 0.03%满量程/ ℃（从25℃开始）
± 0.01%满量程/ Atm（从清零压力开始）
质量流量满量程漂移 ± 0.03%满量程/ ℃（从25℃开始）
± 0.1 %读数/ Atm（从校准压力开始）
满量程 | 满量程压损 （PSID/KPaD）
| 外形尺寸 | 过程接口 | 重量 Lb/kg |
10-50sccm | 1.0/6.9 | 7.05''H ×4.25''W ×1.50''D | M5×0.8mm内螺纹 | |
100sccm-20slpm | 1.0/6.9 | 1/8''NPT内螺纹 | 5.0/2.3 | |
50slpm | 2.0/13.8 | 7.65''H ×4.25''W ×1.50''D | 1/4''NPT内螺纹 |
6.0/2.7
|
100slpm | 2.5/17.2 | |||
250slpm | 2.1/14.5 | 1/2''NPT内螺纹 | ||
500 slpm | 4.0/27.6 | 3/4''NPT内螺纹
| ||
1000 slpm | 6.0/41.4 | |||
3000 slpm | 7.1/49.0 | 8.21''H ×5.20''W ×2.90''D | 1-1/4''NPT内螺纹 | 9.2/4.2 |
5000 slpm | 3.4/23.4 | 9.18''H ×5.60''W ×3.84''D | 1-1/2''NPT内螺纹 | 16.2/7.3 |
品种齐全，上万种仪表
国外直销， 原装进口
诚信服务，售后保证
