产品中心
Product Center
量程10 SCCM - 2 SLPM,优于1 %的精度,100 ms 快速响应
美国ALICAT ISMCQ系列本安防爆高压型气体质量流量控制器,ia区域本安防爆认证,可用于0区环境直接测控,无需额外的阀门配置;采用内部补偿型层流压差技术,使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。可缩短检定或验证高压(160-320 psia)条件下运行流量所需时间,还能够同时实时测量质量流量、体积流量、管线压力和管线温度。具有NIST可溯源校准证书。
制氢
燃料电池
制药
石油化工
能源
碳捕集
气相色谱/氧气分析仪等
ia区域本安防爆认证,可用于0区环境直接测控,无需额外的阀门配置
内置湿度传感器(选配)
多参数显示和输出:温度、压力、体积流量、质量流量,设定值,阀门驱动百分比等
IP66防护
可选高精度:优于0.5%
可现场标定混合气体(最多5种成分),并存储20种混合气
标配阀门自整定和累积流量批次控制功能
本安防爆认证 ATEX和IECEx: Ex ia IIC T4 Ga Tamb -20 ℃ ~ 70℃
北美:Class I, Div 1, Groups A-D T4, Ex ia
Class I, Zone 0, AEx\Ex ia IIC T4 Ga
Tamb -20℃ ~ 70℃
介质要求 洁净的非腐蚀性气体
介质种类 内置98种气体,用户可现场编辑混合气体 (至多5种成分),
并至多存储20种混合气
量 程 从0-10 SCCM 到 0-2SLPM
量程可控比(稳态) 0.5-100%满量程(200:1)
质量流量普通精度 ± 0.6% 读数或± 0.1% 满量程(取最大值)
累计流量精度 流量精度之外增加±0.1%读数额外误差
重 复 性 ±0.1 %满量程
质量流量零点漂移 ± 0.01%满量程/ ℃(从清零温度开始)
± 0.01%满量程/ Atm(从清零压力开始)
质量流量满量程漂移 ± 0.01%读数/ ℃(从25℃开始)
± 0.1 %读数/ Atm(从校准压力开始)
显 示 屏 LCD单色显示屏(带背光)
显示方式 同时显示质量流量、体积流量、压力、温度、设定值、
阀门驱动百分比
传感器响应时间 <1ms
显示响应时间 <10ms(与流量相关)
控制响应时间(T63) <100ms(与流量相关,用户可调)
预热时间 < 1 s
阀门类型 常闭
工作温度 -20 ~ 70 ℃(环境和气体)
温度精度 ± 0.75℃
工作湿度 0~95 %,无冷凝
内置湿度传感器精度(可选) ±1.8%RH@23℃(0-90%RH)
湿度漂移 ±0.05%RH/℃(0 ~ 60℃)
工作压力 11.5-160PSIA
压力精度 ±0.5%读数(>1atm);
±0.07PSIA(<1atm)
耐 压 200PSIA(静压);75PSID(进出口差压)
满量程压损 参考详细压损表
数字输入/输出信号 串口ASCII码和Modbus RTU via RS232(默认);可选串口ASCII码和Modbus RTU via RS485
模拟输入/输出信号 4-20mA
数据刷新频率 数字信号40 Hz@19200波特率;
模拟信号:1000 Hz
屏幕刷新频率 10 Hz
模拟信号精度 在基础误差上额外增加±0.1%满量程误差
供电电压与电流 请查看说明书DOC-MANUAL-IS-SAFEINSTALLATION
电气接口 DB15
接液材质 主体:316L SS,303SS
传感器:氧化铝陶瓷,金,玻璃,热固化环氧树脂,
热固化硅橡胶,硅,聚酰胺
阀门材质:铜,430FR SS
密封材质:FKM
过程接口 NPT内螺纹,详细规格参考压损表;其他过程接口请咨询;
安装方向 无要求
安装固定孔 4×6-32UNC螺纹,孔深7.01mm
防护等级 IP66
满量程 | 满量程压损 (PSID/KPaD)
| 外形尺寸 | 过程接口 | 重量 Lb/kg |
10sccm | 1.5/10.3 | 7.05''H ×5.75''W ×1.50''D | M5×0.8mm内螺纹 |
5.0/2.3 |
20sccm | 2.0/13.8 | |||
50sccm | 6.0/41.4 | |||
100sccm | 20.0/137.9 | 1/8''NPT内螺纹 | ||
200sccm | 1.5/10.3 | |||
500sccm | 4.2/29.0 | |||
1slpm | 14.3/98.6 | |||
2slpm | 44.6/307.5 |

