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量程0.5 SCCM - 250 SLPM,优于1 %的精度,100 ms 快速响应
美国ALICAT ISMCS系列本安防爆气体质量流量控制器,ia区域本安防爆认证,可用于0区环境直接测控,无需额外的阀门配置;可用于快速准确地测量并控制腐蚀性气体(如:NH3、H2S、SiH4等)的质量流量、体积流量、压力,并显示气体温度。采用内部补偿型层流压差技术,使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。内置的绝压和温度传感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异,并对用户标准工况进行修正。具有NIST可溯源校准证书。
制氢
燃料电池
制药
石油化工
能源
碳捕集
气相色谱/氧气分析仪等
ia区域本安防爆认证,可用于0区环境直接测控,无需额外的阀门配置
内置湿度传感器(选配)
多参数显示和输出:温度、压力、体积流量、质量流量,设定值,阀门驱动百分比等
IP66防护
可选高精度:优于0.5%
可现场标定混合气体(最多5种成分),并存储20种混合气
标配阀门自整定和累积流量批次控制功能
本安防爆认证 ATEX和IECEx: Ex ia IIC T4 Ga Tamb -20 ℃ ~ 70℃
北美:Class I, Div 1, Groups A-D T4, Ex ia
Class I, Zone 0, AEx\Ex ia IIC T4 Ga
Tamb -20℃ ~ 70℃
介质要求 洁净的、兼容的、非腐蚀性和腐蚀性气体
介质种类 内置128种气体,用户可现场编辑混合气体 (至多5种成分),
并至多存储20种混合气
量 程 从0-0.5 SCCM 到 0-250 SLPM
量程可控比(稳态) 1-100%满量程(100:1)
质量流量普通精度 ±(0.8 %读数 + 0.2 %满量程)
质量流量高精度 ±(0.4 %读数 + 0.2 %满量程)(量程≥5 SCCM可选)
累计流量精度 流量精度之外增加±0.1%读数额外误差
重 复 性 ±0.2%满量程
质量流量零点和满量程温度漂移 ±0.02%满量程/℃(从25℃开始)
质量流量零点和满量程压力漂移 ±(0.08% 读数+ 0.02% 满量程)/atm、
(从校准压力开始)
显 示 屏 LCD单色显示屏(带背光)
显示方式 同时显示质量流量、体积流量、压力、温度、设定值、
阀门驱动百分比
传感器响应时间 <1ms
显示响应时间: 10-4000ms(与流量相关)
控制响应时间(T63) 30-4000ms(与流量相关,用户可调)
阀门类型 常闭
预热时间 < 1 s
工作温度 -20 ~ 70 ℃(环境和气体)
温度精度 ± 0.75℃
工作湿度 0 ~ 95 %,无冷凝
内置湿度传感器精度(可选) ±1.8%RH@23℃(0-90%RH)
湿度漂移 ±0.05%RH/℃(0 ~ 60℃)
工作压力 11.5-160PSIA
压力精度 ±0.5%满量程
耐 压 200PSIA(静压);75PSID(进出口差压)
满量程压损 参考详细压损表
数字输入/输出信号 串口ASCII码和Modbus RTU via RS232(默认);可选串口ASCII码和Modbus RTU via RS485
模拟输入/输出信号 4-20mA
数据刷新频率 数字信号40 Hz@19200波特率;
模拟信号:1000 Hz
屏幕刷新频率 10 Hz
模拟信号精度 在基础误差上额外增加±0.1%满量程误差
供电电压与电流 请查看说明书DOC-MANUAL-IS-SAFEINSTALLATION
电气接口 DB15
接液材质 主体和传感器:316L SS
阀门材质: 303SS,430FR SS
密封材质:FFKM
过程接口 NPT内螺纹,详细规格参考压损表;其他过程接口请咨询;
安装方向 无要求
安装固定孔 4×6-32UNC螺纹,孔深7.01mm
防护等级 IP66
满量程 | 满量程压损 (PSID/KPaD)
| 外形尺寸 | 过程接口 | 重量 Lb/kg |
0.5-5sccm | 1.0/6.9 | 8.00''H ×5.75''W ×1.50''D
|
M5×0.8mm内螺纹
|
5.0/2.3
|
10sccm | 1.5/10.3 | |||
20sccm | 2.0/13.8 | |||
50sccm | 1.0/6.9 | |||
100sccm-1slpm | 1.5/10.3 | 1/8''NPT内螺纹
| ||
2slpm | 2.5/17.2 | |||
5slpm | 2.5/17.2 | 1/4''NPT内螺纹 | ||
10slpm | 6.0/41.4 | |||
20slpm | 12.0/82.7 | |||
50 slpm | 6.0/41.4 | 8.60''H ×6.00''W ×1.50''D
| 1/4''NPT内螺纹 |
6.0/2.7
|
100 slpm | 17.1/117.9 | |||
250 slpm | 81.9/564.7 | 1/2''NPT内螺纹 |

