ALICAT 气体质量流量控制器 21系列

品牌：ALICAT

量 程0.5 SCCM -10000 SLPM
优于30 ms响应时间

ALICAT 气体质量流量控制器 01系列（已停产，可选替代款03系列）

品牌：ALICAT

量程100 SCCM ，1000 SCCM，20 SLPM，50 SLPM
热贴片原理，体积小巧精致，适合系统集成
100ms快速响应时间，优于2%精度

ALICAT 低压损气体质量流量控制器 21W系列

品牌：ALICAT

量 程 0.5 SCCM - 1000 SLPM
优于1 %的精度
量程可控比宽，0.5~100 %满量程

ALICAT 气体质量流量控制器-耐腐蚀型 21S系列

品牌：ALICAT

量 程 0～0.5 SCCM —— 0～10000 SLPM
量程可控比1%-100%

ALICAT 带集成截止阀气体质量流量控制器 21V系列

品牌：ALICAT

量 程 0～0.5 SCCM —— 0～20 SLPM
量程比 200：1
内置98种气体，100ms响应时间，优于1%精度

ALICAT 气体质量流量控制器-基本型 11系列

品牌：ALICAT

量 程 0-100 SCCM到0-250 SLPM
质量流量普通精度 ± 0.6% 读数或 ± 0.1% 满量程（取最大值）
质量流量高精度 ± 0.5% 读数或 ± 0.1% 满量程（取最大值）

ALICAT 截止阀质量流量控制器 21VS系列

品牌：ALICAT

量 程 0～0.5 SCCM —— 0～20 SLPM
量程比 100：1
内置128种气体，100ms快速响应时间，优于1%的精度

ALICAT 高压气体质量流量控制器 21Q系列

品牌：ALICAT

响应式气体流量控制，适用于高压应用

ALICAT CVD专用气体质量流量控制器 51系列

品牌：ALICAT

CVD专用气体质量流量控制器
层流差压原理
非抗腐蚀

ALICAT CVD行业专用真空控制器 53系列

品牌：ALICAT

CVD行业专用真空控制器